همانطور که می دانید اتوکلاو پلاسما حالت چهارم ماده (جامد، مایع، گاز، پلاسما) را دارد و به طور کلی می توان گفت یون های مثبت و الکترون های آزاد آن با هم برابر می باشند و گاز در آن به شدت یونیزه می شود. بدین ترتیب می توان گفت با اعمال هر گونه انرژی به هر گازی می توان آن را به یک پلاسما تبدیل نمود.برخی بر این تصور هستند که این پلاسما است که باعث ضدعفونی و استریلیزه کردن است ولی این تصور غلط است زیرا این بخار آب اکسیژنه است که عمل از بین بردن میکروارگانیسم ها را انجام می دهد و کاری که پلاسما انجام می دهد این است که بقایای بخار آب اکسیژنه را از بین می برد.قبل از اینکه توضیح دهیم که چگونه پراکسید هیدروژن در یک دستگاه ضدعفونی‌کننده دمای پایین کار می‌کند، ابتدا باید مفهوم پلاسما را توضیح دهیم. پلاسما حالت چهارم ماده (جامد، مایع، گاز و پلاسما) است و وقتی گاز به اندازه کافی گرم می‌شود یا در معرض میدان الکترومغناطیسی قوی قرار می‌گیرد، ایجاد می‌شود. چه اتفاقی می‌افتد وقتی گاز تبدیل به پلاسما شود؟ این ماده به یک ماده ناپایدار تبدیل می‌شود که در آن تعداد الکترون‌ها افزایش یافته یا کاهش می‌یابد، بنابراین یون‌هایی تولید می‌شوند که الکترونهایی با بار مثبت یا منفی هستند. به عبارت دیگر، پلاسما یک گاز یونیزه شده است که دارای خاصیت خاصی است که در هیچ ماده ماده دیگری مشاهده نمی‌شود.پلاسما با فرآیندی به نام اکسیداسیون استریل می‌شود. پلاسما یک واکنش شیمیایی ایجاد می‌کند که در آن تمام میکروارگانیسم‌ها غیرفعال می‌شوند. گرمای زیاد، مولکول‌های پراکسید هیدروژن را به رادیکال‌های آزاد تبدیل می‌کند، که بسیار ناپایدار هستند.پراکسید هیدروژن مایع در استریلایزر وارد می‌شود. مایع در بخار گرم می‌شود تا آن را به گاز تبدیل کند. پس از اتمام این امر، گاز پراکسید هیدروژن تا دمای بالاتر حتی گرم می‌شود و در این مرحله به پلاسما تبدیل می‌شود.